近日，由江蘇省牽頭開發(fā)的“納米圖形化直寫與成像檢測(cè)儀器的研發(fā)與應(yīng)用”和“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”兩項(xiàng)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備順利通過(guò)科技部組織的綜合驗(yàn)收。其中，昆山禾信承擔(dān)的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”項(xiàng)目獲得專家的一致好評(píng)。

　　昆山禾信牽頭承擔(dān)的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”和蘇大維格牽頭承擔(dān)的“納米圖形化直寫與成像檢測(cè)儀器的研發(fā)與應(yīng)用”是“十二五”期間江蘇省獲批的國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)。

　　“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”由昆山禾信聯(lián)合省內(nèi)外16家單位共同完成，在國(guó)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)不同種類質(zhì)量分析器的聯(lián)用，完成了3款國(guó)際先進(jìn)的質(zhì)譜整機(jī)研發(fā)及工程化，項(xiàng)目成果在全國(guó)超過(guò)40家單位推廣應(yīng)用，為南北極科學(xué)考察等國(guó)家重大科學(xué)研究提供支撐服務(wù)，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)高端質(zhì)譜儀器出口歐美發(fā)達(dá)國(guó)家的突破。“納米圖形化直寫與成像檢測(cè)儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項(xiàng)目由蘇大維格聯(lián)合上海理工大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所等6家單位共同完成。

　　該項(xiàng)目解決了微納結(jié)構(gòu)光場(chǎng)的可調(diào)控技術(shù)、圖形的高速率寫入機(jī)制、微納結(jié)構(gòu)與納米精度多軸光機(jī)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與可靠性等難題;面向無(wú)掩模光刻，研制了紫外激光直寫光刻的關(guān)鍵技術(shù)、軟件和裝備;實(shí)現(xiàn)了從納米光子晶體結(jié)構(gòu)到微米級(jí)任意結(jié)構(gòu)的高效率光刻，與目前其他激光直寫技術(shù)相比，速度更快、效率更高。