透射電子顯微鏡可以看到在光學(xué)顯微鏡下無法看清的小于0.2um的細(xì)微結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)稱為亞顯微結(jié)構(gòu)或超微結(jié)構(gòu)。要想看清這些結(jié)構(gòu)，就必須選擇波長更短的光源，以提高顯微鏡的分辨率。1932年Ruska發(fā)明了以電子束為光源的透射電子顯微鏡，電子束的波長要比可見光和紫外光短得多，并且電子束的波長與發(fā)射電子束的電壓平方根成反比，也就是說電壓越高波長越短。傳統(tǒng)的透射電子顯微鏡的分辨力限制在0.2nm。

　　日前，東京大學(xué)研究小組采用磁性材料研發(fā)電子顯微鏡，新設(shè)計的磁性物鏡，終于實(shí)現(xiàn)了對材料的亞空間分辨率直接原子分辨率成像，在試樣位置處殘余磁場小于0.2mT!該新型電子顯微鏡，有望促進(jìn)納米技術(shù)的研究開發(fā)取得重大進(jìn)展。

　　顯微鏡以顯微原理進(jìn)行分類可分為偏光顯微鏡、光學(xué)顯微鏡與電子顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡。

　　偏光顯微鏡是用于研究所謂透明與不透明各向異性材料的一種顯微鏡，在地質(zhì)學(xué)等理工科專業(yè)中有重要應(yīng)用。光學(xué)顯微鏡通常皆由光學(xué)部分、照明部分和機(jī)械部分組成。無疑光學(xué)部分是最為關(guān)鍵的，它由目鏡和物鏡組成。早于1590年，荷蘭和意大利的眼鏡制造者已經(jīng)造出類似顯微鏡的放大儀器。電子顯微鏡有與光學(xué)顯微鏡相似的基本結(jié)構(gòu)特征，但它有著比光學(xué)顯微鏡高得多的對物體的放大及分辨本領(lǐng)，它將電子流作為一種新的光源，使物體成像。掃描隧道顯微鏡亦稱為“掃描穿隧式顯微鏡”、“隧道掃描顯微鏡”，是一種利用量子理論中的隧道效應(yīng)探測物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器。數(shù)碼顯微鏡是將精銳的光學(xué)顯微鏡技術(shù)、先進(jìn)的光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、液晶屏幕技術(shù)完美地結(jié)合在一起而開發(fā)研制成功的一項(xiàng)高科技產(chǎn)品。從而，我們可以對微觀領(lǐng)域的研究從傳統(tǒng)的普通的雙眼觀察到通過顯示器上再現(xiàn)，從而提高了工作效率。

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